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直流溅射镀膜电源

产品名称:直流溅射镀膜电源

产品类别:真空镀膜行业

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产品详情
产品简介
     真空溅射镀膜电源具有超高的准确性、高精确度、高稳定性等优良的电子特性,配备强大的打弧管理系统,能有效抑制靶材弧光放电,打弧检测时间小于3微秒。输出电压可以随不同的靶材变化,具有极佳的负载匹配能力。该电源是专业用于真空溅射镀膜的电源设备,输出电压及电流独立可调,恒压恒流自动转换,电源具备极其优越的抗打火短路性能。
产品特点
.自动稳流功能,可在电网电压和负载大幅度变化的情况下保证电源高效稳定的工作,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量
.针对新靶清洗时存在的频繁打火现象,设计了抑制打火自动保护功能,既保证了靶面清洁的工艺的稳定性,又提高了靶面清洁的速度。
.具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求
.冗余技术:在配置冗余机器设备的状况下可以随时任意切断任何一台或一组单机而不影响整个电源系统的稳定运行。
.模块设计:本电源系统采用模块化设计,安装简单、维护方便
.过压保护.过流保护.过载保护.过热保护.电网保护.浪涌保护
.稳压稳流:电压电流值均可从近似零至额定值连续可调,稳压稳流自动转换。
.智能控制: RS232/RS485串行通信标准配置. 模拟控制:用0-5V或4-20mA信号控制电源
性能特点:电压0—1200V,功率0—500KW

 

.智能控制: RS232/RS485串行通信标准配置. 模拟控制:用0-5V或4-20mA信号控制电源

规格

电压

     功率

800V

35KW

800V

100KW

1000V

35KW

1000V

100KW

1200V

35KW

1200V

100KW


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