欢迎浏览能华电源公司网站!
服务热线:0531-85235777
脉冲磁控溅射电源

产品名称:脉冲磁控溅射电源

产品类别:按行业应用分类

在线咨询:

联系电话:15169197576

工作时间:周一至周五 早上9:00-下午5:30

产品详情
主要性能
大功率脉冲磁控溅射电源以快速开关控制正负电极放电,避免从传统磁控溅射之异常辉光放电区进入电弧放电区,电流密度可达1019 /m,比传统磁控溅射高三个量级,离化率更高达70%-100% ,可轻易沉积各种高级膜,附着力强。几乎不用改变原来磁控溅射镀膜设备,可直接更换电源即可。

主要特点
DSP全数字控制,自动化程度高
具有过流、过压、超温保护
全逆变设计,大功率IGBT功率模块为主要器件,脉冲输出有较强的冲击力,单脉冲功率可达MW级

主要参数
1、       输入电压:380V±5%,50HZ,三相交流;
2、       输出电压:100V-4000V,脉冲电压;
3、       输出电流:100A-2000A,脉冲电流;
4、       输出脉宽:5-2500us,可设定;
5、       频率:30Hz-50kHz,可选择范围;
6、       输出功率:10KW  20KW  30KW  40KW  50KW

关于我们

新闻中心

产品中心

服务支持

人力资源

联系我们